发明名称 WAFER CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR960009289(Y1) 申请公布日期 1996.10.16
申请号 KR19930027660U 申请日期 1993.12.14
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD 发明人 KWAK, MYUNG-SOO
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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