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经营范围
发明名称
WAFER CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR960009289(Y1)
申请公布日期
1996.10.16
申请号
KR19930027660U
申请日期
1993.12.14
申请人
LG SEMICONDUCTOR CO., LTD
发明人
KWAK, MYUNG-SOO
分类号
H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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