发明名称 DEPOSICION EN FASE DE VAPOR DE RESINA DE SILSESQUIOXANO DE HIDROGENO.
摘要 LA PRESENTE INVENCION ESTA RELACIONADA CON LA DEPOSICION DE REVESTIMIENTO QUE CONTIENEN SILICIO Y OXIGENO DE UNA RESINA DE SILSESQUIOXANO DE HIDROGENO EVAPORADO. EL PROCESO COMPRENDE LA INTRODUCCION DEL VAPOR DE SILSESQUIOXANO DE HIDROGENO EN UNA CAMARA DE DEPOSICION QUE CONTIENE EL SUBSTRATO A REVESTIR Y, A CONTINUACION, LA REACCION DE INDUCCION DEL VAPOR PARA FORMAR EL REVESTIMIENTO.
申请公布号 ES2090514(T3) 申请公布日期 1996.10.16
申请号 ES19920304290T 申请日期 1992.05.12
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 GENTLE, THERESA EILEEN
分类号 C01B33/12;B05D7/24;C09D4/00;C09D183/04;C23C16/00;C23C16/27;C23C16/40;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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