发明名称 |
从电子束中排除离子的装置 |
摘要 |
本发明的对象是一个垂直于电子束轴线(OA)定向的产生EXB场的偏转单元(韦氏滤波器),它只将强大的横向力作用到带正电的气体离子上,但并不影响电子的运动。这个致偏单元主要包括两个处于固定电位(Vo)的管电极(RA,PE),一个静电八极偏转器(ED)和两个环形包围着这个八极偏转器(ED)的马鞍形线圈对(SPI,SPA)。 |
申请公布号 |
CN1133484A |
申请公布日期 |
1996.10.16 |
申请号 |
CN95119911.0 |
申请日期 |
1995.10.26 |
申请人 |
西门子公司 |
发明人 |
E·普赖斯 |
分类号 |
H01J3/40;H01J49/48;H01J37/05;H01J35/02;G01N23/04;A61B6/03 |
主分类号 |
H01J3/40 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
萧掬昌;叶恺东 |
主权项 |
1.从电子束中排除离子的装置,包括:一个产生连续的均匀的电耦极子场的第一偏转单元(ED)和一个产生连续的均匀的磁耦极子场的第二偏转单元(MD,SPI,SPA),其中致偏单元(ID,MD)其有一个公共的对称轴(OA),这个电的和磁的耦极子场在空间是这样相互定位的,即它们的场矢量几乎相互垂直,并且均没有沿对称轴(OA)方向的分量,以及沿对称轴(OA)的断面的电场强度之和与磁场强度之和的比值为常数,并且与沿对称轴(OA)运动的电子的中间速度之和大致相等。 |
地址 |
联邦德国慕尼黑 |