发明名称 Magnetic immersion field emission electron gun systems capable of reducing aberration of electrostatic lens
摘要
申请公布号 EP0585840(B1) 申请公布日期 1996.10.16
申请号 EP19930113752 申请日期 1993.08.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 YAMAZAKI, YUICHIRO;MIYOSHI, MOTOSUKE;NAGAI, TAKAMITSU
分类号 H01J37/073;(IPC1-7):H01J37/073 主分类号 H01J37/073
代理机构 代理人
主权项
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