发明名称 PRODUCTION OF SILICON DIOXIDE INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH08269706(A) 申请公布日期 1996.10.15
申请号 JP19950071860 申请日期 1995.03.29
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 HISHIKAWA YOSHIHIRO;ISOMURA MASAO
分类号 C23C14/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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