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发明名称 HIGH IMPEDENCE PLASMA ION IMPLANTATION METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR960014437(B1) 申请公布日期 1996.10.15
申请号 KR19930023273 申请日期 1993.11.04
申请人 HUGE AIRCRAFT COMPANY 发明人 SCHUMACHER, ROBERT W.;MATOSSIAN, JESSE N.;GOEBEL, DAN M.
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265;H01L21/324;(IPC1-7):H05H1/24 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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