发明名称 |
ELEKTRONENEMISSIONS-KATHODE, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN UND ELEKTRONENSTRAHLERZEUGER MIT EINER SOLCHEN ELEKTRONENEMISSIONS-KATHODE SOWIE VAKUUMBEHANDLUNGSANLAGE |
摘要 |
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申请公布号 |
AT143527(T) |
申请公布日期 |
1996.10.15 |
申请号 |
AT19890122348T |
申请日期 |
1989.12.04 |
申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
WEGMANN, URS;KOLLER, ALBERT |
分类号 |
C23C14/22;C23C14/24;H01J1/16;H01J9/04;H01J37/065;H01L21/203;(IPC1-7):H01J37/065;H01J37/305 |
主分类号 |
C23C14/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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