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发明名称 FORMATION OF TITANIUM NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH08269535(A) 申请公布日期 1996.10.15
申请号 JP19950091901 申请日期 1995.03.27
申请人 NIPPON STEEL CORP;NIPPON STEEL CHEM CO LTD 发明人 HIROTA YOSHIAKI;OKUBO SHUICHI
分类号 B22D19/08;C21D1/00;(IPC1-7):C21D1/00 主分类号 B22D19/08
代理机构 代理人
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