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发明名称 ELECTRICALLY TUNED MATCHING NETWORK USING INDUCTANCE VARIANCE ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH08264297(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950280511 申请日期 1995.10.27
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 BIKUTOO SHIERU
分类号 H05H1/46;H01F29/14;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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