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发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH08261532(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950087386 申请日期 1995.03.20
申请人 TOYO ENG WORKS LTD 发明人 IWANAGA TAIICHI
分类号 F24F7/06;(IPC1-7):F24F7/06 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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