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发明名称 SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH08262037(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950067916 申请日期 1995.03.27
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 DOU TAKESHI
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q20/00;G01Q20/02;G01Q60/16;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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