| 发明名称 |
INSPECTION METHOD OF GLASS MATERIAL LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08261918(A) |
申请公布日期 |
1996.10.11 |
| 申请号 |
JP19950064433 |
申请日期 |
1995.03.23 |
| 申请人 |
UBE IND LTD |
发明人 |
FUJII KAZUHIRO;KUNISAWA TETSUO;ABU TOSHIHIKO |
| 分类号 |
G01N21/17;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/17 |
主分类号 |
G01N21/17 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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