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经营范围
发明名称
CLEANING OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH08264500(A)
申请公布日期
1996.10.11
申请号
JP19950068335
申请日期
1995.03.27
申请人
SONY CORP
发明人
SAGA KOICHIRO;KOYATA SAKUO;HATTORI TAKESHI
分类号
B08B3/08;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B3/08
代理机构
代理人
主权项
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