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发明名称 ENVIRONMENT CONTROLLER FOR HIFIX SECTION OF IC HANDLER
摘要
申请公布号 JPH08262101(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950090377 申请日期 1995.03.23
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 TSUDA AKIYOSHI
分类号 G01R31/26;F24F5/00;G01N1/28;G01N17/00;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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