发明名称 SCANNING TYPE ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH08264425(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950087442 申请日期 1995.03.20
申请人 NIKON CORP 发明人 MORI SUSUMU;HAZAMA JUNJI
分类号 G02F1/136;G02F1/1368;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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