发明名称 |
REACTIVE ION ETCHING INDUCTIVELY REINFORCED |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08264296(A) |
申请公布日期 |
1996.10.11 |
申请号 |
JP19950285062 |
申请日期 |
1995.11.01 |
申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
ROBAATO UU;JIERARUDO TSUEYAO IN |
分类号 |
H05H1/46;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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