发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08264771(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950062232 申请日期 1995.03.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOSHITOMI TAKASHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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