发明名称 METHOD OF MANUFACTURING MULTIPLE SEMICONDUCTOR CRYSTALLINE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08264813(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950069665 申请日期 1995.03.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HIROTA KOJI;HAMASHIMA SHIGEKI;UEDA TOMOSHI;TSUCHIDA HIROYUKI;WATANABE YOSHIO
分类号 H01L21/368;H01L31/0264;(IPC1-7):H01L31/026 主分类号 H01L21/368
代理机构 代理人
主权项
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