| 发明名称 |
MANUFACTURE OF DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08264635(A) |
申请公布日期 |
1996.10.11 |
| 申请号 |
JP19950061063 |
申请日期 |
1995.03.20 |
| 申请人 |
UBE IND LTD |
发明人 |
SHIMIZU MICHIMASA;KATSUKI SHOZO |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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