SECONDARY ELECTRON DETECTING APPARATUS FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE,申请号JP19950068202-传众专利搜索

发明名称	SECONDARY ELECTRON DETECTING APPARATUS FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号	JPH08264149(A)	申请公布日期	1996.10.11
申请号	JP19950068202	申请日期	1995.03.27
申请人	HORON:KK	发明人	ANAZAWA NORIMICHI
分类号	H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244	主分类号	H01J37/244
代理机构		代理人
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