发明名称 BONDING DEVICE AND BONDING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08264585(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950069492 申请日期 1995.03.28
申请人 SHARP CORP 发明人 HISATOMI JUNICHIRO
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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