发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08264563(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950084510 申请日期 1995.03.17
申请人 MIRI WAVE:KK 发明人 ONO KATSUJI
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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