| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR CHEMICAL BEAM DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08264459(A) |
申请公布日期 |
1996.10.11 |
| 申请号 |
JP19950066402 |
申请日期 |
1995.03.24 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
IZUMI MOICHI;HAYAFUJI AKIO;SONODA TAKUJI |
| 分类号 |
C23C16/18;C23C16/448;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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