发明名称 CLEANER FOR CHARGED PARTICLE
摘要
申请公布号 JPH08264501(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950086131 申请日期 1995.03.17
申请人 NEC CORP 发明人 SASAKI NORINAGA
分类号 B08B3/10;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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