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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08264495(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950067209 申请日期 1995.03.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO YOJI;SUGITA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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