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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08264503(A)
申请公布日期
1996.10.11
申请号
JP19950086225
申请日期
1995.03.17
申请人
NIPPONDENSO CO LTD
发明人
HOSHINO MITSURU;SAKAIDA ATSUSUKE;TANIGUCHI TOSHIHISA
分类号
C23F1/08;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
C23F1/08
代理机构
代理人
主权项
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