发明名称 DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08264642(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950064436 申请日期 1995.03.23
申请人 UBE IND LTD 发明人 KATSUKI SHOZO
分类号 C04B37/00;C03C3/089;H01L21/02;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 C04B37/00
代理机构 代理人
主权项
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