发明名称 SEPARATE FORMATION IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08264634(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19960038523 申请日期 1996.02.26
申请人 HYUNDAI ELECTRON IND CO LTD 发明人 SANGUFUN PAKU
分类号 H01L21/31;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址