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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH08264142(A)
申请公布日期
1996.10.11
申请号
JP19950063927
申请日期
1995.03.23
申请人
JEOL LTD
发明人
KONNO SHIGEO
分类号
H01J37/04;H01J37/141;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/04
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
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