发明名称 WASHING METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH08262388(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950068438 申请日期 1995.03.27
申请人 TOSHIBA ELECTRON ENG CORP;TOSHIBA CORP 发明人 SHIRAI OSAMU
分类号 G02F1/13;B08B3/00;G02F1/1333;(IPC1-7):G02F1/13;G02F1/133 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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