发明名称 Vorrichtung zur Dickenmessung von Dünnschichten von Halbleitern
摘要
申请公布号 DE69304396(D1) 申请公布日期 1996.10.10
申请号 DE19936004396 申请日期 1993.03.08
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP;JASCO CORP., HACHIOJI, TOKIO/TOKIO, JP 发明人 HATTORI, RYO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 4-CHOME, ITAMI-SHI, HYOGO 664, JP;NISHIZAWA, SEIZI, JASCO CORPORATION, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;TAKAHASHI, TOKUJI, JASCO CORPORATION, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;FUKASAWA, RYOICHI, JASCO CORPORATION, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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