发明名称 SUPPORT DEVICE
摘要
申请公布号 KR960013627(B1) 申请公布日期 1996.10.10
申请号 KR19880012868 申请日期 1988.09.30
申请人 TOKYO ELECTRON KK. 发明人 UCHIDA, MIZUKI;HARA, KOZO
分类号 B23Q7/10;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B23Q7/10
代理机构 代理人
主权项
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