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发明名称 Vorrichtung zum Positionieren eines Wafers
摘要
申请公布号 DE3855324(T2) 申请公布日期 1996.10.10
申请号 DE19883855324T 申请日期 1988.10.20
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SHIMANE, KAZUO, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 215, JP;IIJIMA, NOBUO, TAMA-SHI TOKYO 206, JP;KAWABATA, TATSURO, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 G03F9/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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