SEALING APPARATUS OF PROCESS CHAMBER AND QUARTZ TUBE,申请号KR19930018626U-传众专利搜索

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发明名称	SEALING APPARATUS OF PROCESS CHAMBER AND QUARTZ TUBE
摘要
申请公布号	KR960008665(Y1)	申请公布日期	1996.10.07
申请号	KR19930018626U	申请日期	1993.09.16
申请人	HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD	发明人	LEE, SANG-YUN;LEE, CHUNG-DAE
分类号	H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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