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发明名称 HEATER FOR HEATING OF ETCHING CHEMICAL
摘要
申请公布号 KR960008661(Y1) 申请公布日期 1996.10.07
申请号 KR19930019009U 申请日期 1993.09.21
申请人 LEE, KUN-WON 发明人 LEE, KUN-WON
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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