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发明名称 DOUBLE HEAD NOZZLE ASSEMBLY FOR COATING MATERIAL OF SEMICONDUCTOR COATER
摘要
申请公布号 KR960008671(Y1) 申请公布日期 1996.10.07
申请号 KR19930017866U 申请日期 1993.09.08
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD 发明人 AHN, CHAN-HO;LEE, JUNG-WON
分类号 H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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