| 摘要 |
<p>Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine universell anwendbare mikromechanische Sonde für Rastermikroskope zu schaffen, die rastermikroskopische Untersuchungen mit einer höheren lateralen Auflösung und hohen Meßgeschwindigkeit garantiert. Die Sonde besteht aus einem Träger und einem damit verbundenen, als Schichtpaket ausgebildeten Ausleger, der mindestens eine Piezoschicht und mehrere Metallschichten enthält und der an seinem freien Ende eine Mikrotastspitze trägt, wobei der mehrschichtige Ausleger die Sondenfunktionen zur Durchführung der Atom-Kraft-Mikroskopie(AFM), der Raster-Tunnel-Mikroskopie(STM) und der optischen Nahfeldmikroskopie(SNOM) in sich vereint, indem an die Piezoschicht/en eine Wechselspannung angelegt ist, deren Frequenz mit einer der Resonanzfrequenzen des Auslegers übereinstimmt, und indem der Ausleger mindestens eine Lichtleiterschicht enthält, die mit einer optisch transparenten Mikrotastspitze lichtleitend verbunden ist. Mit der Sonde können topologische, elektrische und optische Meßdaten von Oberflächen gewonnen werden.</p> |
