Oxidpulver, Sinterkörper, Verfahren zu dessen Herstellung und daraus zusammengesetztes Target,申请号DE19906026973T-传众专利搜索

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发明名称	Oxidpulver, Sinterkörper, Verfahren zu dessen Herstellung und daraus zusammengesetztes Target
摘要
申请公布号	DE69026973(T2)	申请公布日期	1996.10.02
申请号	DE19906026973T	申请日期	1990.02.28
申请人	TOSOH CORP., SHINNANYO, YAMAGUCHI, JP	发明人	IWAMOTO, TETSUSHI, YAMAGATA-SHI, YAMAGATA, JP;OGAWA, NOBUHIRO, SHINNANYO-SHI, YAMAGUCHI, JP
分类号	C01G15/00;C01G19/00;C04B35/01;(IPC1-7):C01G19/00;C23C14/08	主分类号	C01G15/00
代理机构		代理人
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