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发明名称 Verfahren zum teilweisen Anfüllen von Kontakten oder Durchführungen verschiedener Tiefe
摘要
申请公布号 DE69025886(T2) 申请公布日期 1996.10.02
申请号 DE19906025886T 申请日期 1990.12.18
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 FLANNER, JANET, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/60;H01L23/52 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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