| 发明名称 |
Vorrichtung für den Transport und zum Wenden von kugelförmigen Substraten in der Beschichtungskammer einer Vakuumbeschichtungsanlage |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29613205(U1) |
申请公布日期 |
1996.10.02 |
| 申请号 |
DE19962013205U |
申请日期 |
1996.07.31 |
| 申请人 |
LEYBOLD SYSTEMS GMBH, 63450 HANAU, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
B65G47/252;C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/22;B65G47/22;B65G49/05;C23C14/56 |
主分类号 |
B65G47/252 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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