| 发明名称 |
A method of making, and a device including, a titanium nitride layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2299345(A) |
申请公布日期 |
1996.10.02 |
| 申请号 |
GB19960005507 |
申请日期 |
1996.03.15 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD. |
发明人 |
JEONG TAE * KIM;SUNG BO * HWANG |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C16/34;C23C16/56;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C16/56 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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