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发明名称 Herstellungsverfahren für Gross-Matrix-Halbleiterbauelemente
摘要
申请公布号 DE68926033(T2) 申请公布日期 1996.10.02
申请号 DE1989626033T 申请日期 1989.12.05
申请人 XEROX CORP., ROCHESTER, N.Y., US 发明人 FISHER, ALMON P., ROCHESTER NEW YORK 14620, US;DRAKE, DONALD J., ROCHESTER NEW YORK 14618, US
分类号 B41J2/05;B41J2/16;B41J2/335;B41J2/34;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/306;H01L27/146;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B41J2/05
代理机构 代理人
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