Process and device for purification of noxious exhaust gases by chemical conversion in a flame and hot surfaces

摘要

Abgase, vorzugsweise aus CVD- und Plasmaprozessen mit unterschiedlichen, toxischen Schadstoffen, insbesondere auch fluorhaltigen Verbindungen, werden in einem mehrstufig wirkenden Verfahren und dafür ausgeführten Einrichtungen in einer Brennkammer (1) mit Hilfe einer Brenngasflamme (7) behandelt und anschließend in einem flüssigen Sorptionsmittel gereinigt. In der Brennkammer werden bestimmte Schadstoffe zunächst in der Flamme in einer Volumenreaktion thermisch zersetzt oder in Oxidations- oder Redoxreaktionen umgesetzt. Der heiße Gasstrom durchströmt und erhitzt in der Brennkammer dann einen gasdurchlässigen, vorzugsweise aus Siliziumdioxid bestehenden, reaktiven Körper (10,13). Andere Schadstoffe des Abgases und sekundäre, in der Flamme entstehende Schadstoffe, werden durch Oberflächenreaktionen und/oder Volumenreaktionen in diesem gasdurchlässigen Körper in flüchtige, hydrolisierbare Gase umgewandelt. Der aus der Brennkammer austretende, heiße Gasstrom wird in einer anschließenden Sorptionseinrichtung (21) abgekühlt, hydrolisiert und neutralisiert und von den umgewandelten Produkten der Schadstoffe gereinigt. Da bei dem Verfahren in einer einzigen Brennkammer verschiedene chemische Umwandlungsprozesse zur Wirkung gebracht werden, erzielt man mit dem Verfahren auch für unterschiedlich sich verhaltene Schadstoffe sehr niedrige Schadstoffgehalte in der Abluft.