| 主权项 |
1.一种二维压电元件移动台,包含二个移动轴,一驱动中心移动台及一移动轴控制装置;其各维移动轴含有二只或二只以上之驱动脚,用以驱动中心移动台作直线移动;而二个移动轴含有等数之移动脚,而得以独立移动者;其中,该驱动脚包含一个压电移动元件,一个压电箝制元件以及一个挠性铰式平行移动装置;且该移动轴控制装置控制各同移动轴之各该压电移动元件,以等角度作相位差移动者。2.如申请专利范围第1项之装置,其中之挠性铰式平行移动装置包含一固定部份及一挠性平行移动部份,该挠性平行移动部份在该压电移动元件驱动下,可相对该固定部份平行移动一短距离;且于该压电移动元件不作用时,可因挠性而回复原位。3.如申请专利范围第1项或第2项所述之装置,其中该驱动脚系以该压电移动元件驱动该挠性铰式平行移动装置之挠性平行移动部份,且该压电箝制元件固定于该挠性平行移动部份,并可用于箝制移动台而与该移动台作暂时结合。4.如申请专利范围第1项或第2项所述之装置,其中之压电元件系选自单晶、多晶、陶瓷或聚合物等具有压电特性材质者。5.如申请专利范围第3项所述之装置,其中之压电元件系选自单晶、多晶、陶瓷或聚合物等具有压电特性材质者。图示简单说明:第1图表示本创作高精确度二维压电元件奈米移动台之示意图。第2图表示本创作高精确度二维压电元件移动台之实施中,承载机体结构示意图。第3.1图即表示适用在本创作实施例之一体成型挠性铰式平行运动装置之俯视图。第3.2图为其仰视图。第3.3图为其侧视图。第4图表示本创作高精确度二维压电元件奈米移动台单轴之运动方式示意图。第5图表示本创作应用在奇数对移动脚及偶数对移动脚之实施例示意图。第6图即显示本创作适用,能作二轴移动之移动脚之结构示意图。第7图表示本创作之高精确度二维压电元件移动台各轴移 |
