发明名称 PLASMA TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH08255785(A) 申请公布日期 1996.10.01
申请号 JP19950057848 申请日期 1995.03.17
申请人 NEC CORP 发明人 AKIMOTO KENJI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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