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发明名称 HIGH FREQUENCY DISCHARGE METHOD, DISCHARGE DEVICE THEREFOR, AND HIGH FREQUENCY DISCHARGE TREATMENT DEVICE USING THIS DISCHARGE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08255697(A) 申请公布日期 1996.10.01
申请号 JP19950061192 申请日期 1995.03.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUGAI HIDEO;KANO MASAAKI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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