| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08255792(A) |
申请公布日期 |
1996.10.01 |
| 申请号 |
JP19950057249 |
申请日期 |
1995.03.16 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SASAKI KEIICHI;NAKADA RENPEI;HAYASAKA NOBUO;KUNISHIMA IWAO |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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