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发明名称 SUBSTRATE OBSERVATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08254417(A) 申请公布日期 1996.10.01
申请号 JP19960038692 申请日期 1996.01.31
申请人 OMRON CORP 发明人 KOBAYASHI SHIGEKI;TANIMURA YASUAKI
分类号 G01B11/30;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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