| 发明名称 |
SI SURFACE TREATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08255779(A) |
申请公布日期 |
1996.10.01 |
| 申请号 |
JP19950082044 |
申请日期 |
1995.03.15 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
MORITA YUKINORI;TOKUMOTO HIROSHI |
| 分类号 |
C30B29/06;C23F1/24;C30B33/10;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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