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发明名称
NATURAL OXIDE FILM REMOVING METHOD IN CONTACT HOLE ON THE SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR960013138(B1)
申请公布日期
1996.09.30
申请号
KR19920014447
申请日期
1992.08.11
申请人
DAINIPPON SCREEN SEIJO KK.
发明人
IZMI, AKIRA;MATSUKA, DAKESI
分类号
H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/30
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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